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分子泵应该如何清洗？

2023.08.03

  分子泵的清洗非常重要，如果前级泵没有问题，而真空在规定的时间内没有达到规定的真空度，如果排除真空系统漏气或真空控体亏染严重等原因.在对泵长时间烘烤后仍不能灰复其真空性能，则断定泵已被污染，必须对泵进行清洗。

 分子泵的清洗分为直接进行清洗和拆卸清洗，前者适用于内部不太脏，后者用于内部严重脏化。其方法如下:

(1)关掉分子泵，进行排气。

(2)从设备上小心卸下分子泵，注意不要碰到接口的边缘部分，以免影响密封性。
(3)卸下冷却器、润滑油包等。
(4)将分子泵的高真空接口朝下，垂直地放人一个盛有无水酒精的容器中，液面高度略低于前级真空接口。
(5)上下活动分子泵几次，便于分子泵的定子和转子的叶片清洗。换掉无水酒精，加人新的无水酒精，*少要重复一次。每次在无水酒精中浸泡大概5~10min。
(6)取出分子泵，将高真空接口朝上，再缓慢放平，以便排出磁性轴承中的酒精。
(7)用一个网格放在高真空接口上，然后朝下放置30min以上，排出清洗酒精，注意接口的密封表面不要损伤。
(8)接上前级真空泵，在关闭分子泵的情况下，利用前级泵抽真空，使真空度达到大概10^-1Pa左右，以便*清除分子泵中残留的无水酒精。
(9)因前级真空泵中有酒精，需更换前级泵真空油。
(10)接上分子泵开始工作，因为经过处理后，分子泵中仍有残留的酒精存在，因此*一次抽真空比较慢，属于正常情况。
 潽拓光电建议分子泵的清洗还是由指定的维修中心zhuan业人员拆泵和清流。避免操作不当损坏设备！

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